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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

簡要描述：國儀量子超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000X，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。

  • 產(chǎn)品型號：SEM5000X
  • 廠商性質：生產(chǎn)廠家
  • 更新時間：2024-12-17
  • 訪  問  量：2982

詳細介紹

超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X是一款超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡，其分辨率達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高分辨物鏡設計、高壓隧道技術（SuperTunnel）以及鏡筒工藝升級，實現(xiàn)了低電壓分辨率的進一步提升。全新設計的樣品倉，擴展接口增加至16個，快速換樣倉最大支持8寸晶圓（最大直徑208 mm），極大擴展應用范圍。高級掃描模式和自動功能增強，帶來了更強的性能和更好的體驗。

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產(chǎn)品優(yōu)勢：

•超高分辨率成像，達到了突破性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV

•樣品臺減速和高壓隧道技術組合的雙減速技術，挑戰(zhàn)極限樣品拍攝場景

•高精度機械優(yōu)中心樣品臺、超穩(wěn)定性的機架減震設計，可搭配整體罩殼設計，極大減弱環(huán)境對極限分辨率的影響

•最大支持8寸晶圓(最大直徑208 mm)的快速換樣倉，滿足半導體和科研應用需求



應用案例


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