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掃描電鏡測試對樣品的基本要求是什么?

更新時間:2024-01-23      點擊次數(shù):1639
  鎢燈絲掃描電鏡使用時的注意事項
  如何制取樣品?
  首先看樣品是否導(dǎo)電,如果導(dǎo)電的話,要正確的取材,然后清潔樣品表面,將樣品固定好,進(jìn)行腐蝕、電解拋光等處理,然后在高真空下觀察;如果樣品不導(dǎo)電,要看它是否可以噴金,可以噴金的樣品,當(dāng)正確取材、清潔表面后,再對其進(jìn)行噴完金處理,然后按照上面所述的步驟進(jìn)行,如果不可以噴金,正確選材、清潔表面、固定樣品后,要在低真空下觀察。
  掃描電鏡測試對樣品的基本要求是?
  能提供導(dǎo)電和導(dǎo)熱通道,不會被電子束分解
  在電子束掃描下具有良好的熱穩(wěn)定性,不能揮發(fā)或含有水分
  樣品大小與厚度要適于樣品臺的尺寸
  樣品表面應(yīng)該清潔,無污染物
  磁性樣品要預(yù)先去除磁性
  影響鎢燈絲掃描電鏡分辨率的因素?
  1,電子束的實際直徑;電子束的直徑減小,分辨率提高,但是實際直徑小到一定程度時,很難激發(fā)出足夠的信號。所以理想的電子束需要尺寸小而且束流大。
  2,電子束在試樣中的散射;電子束進(jìn)入試樣后,受到試樣對電子的散射,從而電子束直徑變寬,降低了分辨率,這種散射效應(yīng)取決于加速電壓的大小和試樣本身的性質(zhì)。
  3,信號噪聲比。噪聲來源于兩個方面:點噪聲、統(tǒng)計漲落噪聲。提高信噪比可以:
 ?、偬岣咝盘栯娏?,②采用長的幀掃描時間,③減少像元數(shù)目,但是會降低圖像的清晰度。故提高信噪比的有效途徑是提高電子束的亮度或適當(dāng)延長幀掃描的時間。
  工作電壓、工作距離、束斑尺寸各自對掃描電鏡的成像質(zhì)量和分辨率有什么影響?
  工作電壓給電子槍提供高壓從而產(chǎn)生電子源,電壓越高,分辨率越高
  工作距離樣品和物鏡之間的距離,縮短工作距離可以提高圖像分辨率;(樣本表層到末級聚光鏡(通常我們叫他物鏡,但不準(zhǔn)確)的極靴的距離)
  因為一般來說,束斑小的分辨率高。但束斑小相應(yīng)的束流也小,轉(zhuǎn)化為成像信號的電子也少,而統(tǒng)計噪音是固定的。當(dāng)信號值低于噪音的3倍時,將無法識別信號代表的信息。信噪比是限制成像分辨率的一個重要基本因素。相同的掃描區(qū)域,小束斑漏掃地方太多,所以邊緣不平滑。
  泄真空時,為什么要關(guān)閉高壓(HV)后,等待一定時間后再卸真空?
  鎢燈絲一般處于2700K的高壓,當(dāng)關(guān)閉高壓時,燈絲依舊還很熱,如果此時泄真空的話,會氧化燈絲,嚴(yán)重的話,會使燈絲壞掉;時間長了,也會影響整個鏡筒的狀態(tài),整個鏡筒會產(chǎn)生氧化膜,影響分辨率。
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